研究方向 研究簡介研究方向 硬質薄膜透明導電膜其他功能性薄膜CIGS太陽能電池燃料電池鋰電池銀合金生質碳研究計畫 |
薛富盛實驗室之研究工作係基植於材料科技之開發與應用，研究方向如左列表所示，其中最具代表性之學理創新及應用技術突破可分為五大類： (1)先進燃料電池膜電極組製備技術：本實驗室將直流磁控濺鍍技術導入於燃料電池膜電極組，分別將TiVCr儲氫合金、Ti金屬及ZnO金屬氧化物鍍著於膜電極組之陽極氣體擴散層，藉由鍍膜材料本身之特性與特殊微結構，改善膜電極組之物理性質與化學性質，進而提升電池之發電效率、耐久性及高溫水管理能力； (2)TiVCr基高熵合金及其氮化物：開發成功硬度達48 GPa的多元合金TiVCrZrHf氮化物薄膜，其硬度接近超硬薄膜cubic-BN(50 Gpa)，是目前文獻報導中最高硬度之多元高熵合金氮化物薄膜；此薄膜用於半導體金屬化之銅製程，其擴散阻障溫度可達800℃，超越目前半導體產業界所使用之TaN(700℃)，未來產業應用潛力高；此研究成果所發表之SCI期刊論文中的一篇，獲選為2011年ESI (Essential Science Indicators)材料領域Hi-Ci論文； (3)薄膜與鍍膜技術：首先以穿透式電子顯微鏡分析，證明陰極電弧沈積鍍膜技術中微粒形成的機制，提出如何利用中介層(interlayer)改善鍍膜附著性之實驗及氮化物鍍膜之微結構與機械性質、腐蝕性質的關係； (4)開發銀(Ag)合金導線取代傳統電子構裝用金導線，提出以鈀(Pd)金屬解決銀鋁(Ag-Al)交互擴散之學理機制； (5)金屬與陶瓷界面差排結構與界面機械性質量測，提出以週期性斷裂法量測界面極限剪應力的方法，對薄膜與鍍膜界面機械性質量測有重大的貢獻。 |
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