研究方向
研究簡介
研究方向
   硬質薄膜
   透明導電膜
   其他功能性薄膜
   CIGS太陽能電池
   燃料電池
   鋰電池
   銀合金
   生質碳
研究計畫
其他功能性薄膜 

光觸媒薄膜

光觸媒材料;具有氧化分解反應與親水現象,近年來頗重視,若以以大面積塗佈在窗材玻璃上,則可以其較高的反應面積,將汙染物或有害氣體更有效率的分解,且藉超親水現象也使玻璃能永保潔淨。室外以日光之UV 波段即可激發光觸媒,若要要應用於室內,需開發至普通照明便可激發之材料。

經由實驗室研究發現,在可見光照射下,所有摻雜鈮的TiO2薄膜其光觸媒活性比未摻雜及摻雜錫的TiO2薄膜來得好,具有作為可見光光觸媒之應用潛力。

 

介電陶瓷薄膜

隨著電子產品輕、薄、短、小之發展趨勢,電子陶瓷的應用在電子工業的發展上扮演了舉足輕重的角色,人們對於電子元件輕薄短小的需求以及對於電子產品的多功能性,使得電子元件的工作頻率的不斷上升。

ZnO-TiO2 系統陶瓷通常伴隨著三種化合物出現,分別為ZnTiO3 (Hexagonal Structure)、Zn2TiO4 (Cubic Structure)、Zn2Ti3O8 (Cubic Structure),Zn2Ti3O8 晶相存在於低於820 ℃。ZnO-TiO2陶瓷體之燒結溫度必須達到 1100 ℃,若溫度高於 945 ℃時,固溶體會分解成Zn2TiO4(尖晶石;Spinel)及 TiO2 (金紅石;Rutile)。

本實驗室利用濺鍍法沉積薄膜於白金電極(Pt/Cr/SiO2/Si)基板上並退火500 °C時,成功地製備出單一Zn2Ti3O8結晶相薄膜之電容器結構。當退火700 °C時,較大尺寸的晶粒從薄膜中析出,利用FETEM鑑定其為ZnTiO3結晶相,並搭配FETEM橫截面高解析影像分析技術,證明Zn2Ti3O8薄膜與白金電極接觸性良好。Zn2Ti3O8薄膜的介電特性為本實驗室首先發表:介電常數為32.9,介電損失為0.022在1 MHz的量測頻率下。